产品特点： 1. 非接触式、不破坏样品的光干涉式膜厚计。 2.高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱，分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消 光系数)。 3.宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)。 4.薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)。 5.对应显微镜下的微距量测口径。